2020/03 2021/03 2022/03 2023/03 2024/03
半導体製造装置 56,198 71,745 101,145 112,365 100,055
計測機器 31,728 25,359 29,556 34,436 34,624
合計 87,927 97,105 130,702 146,801 134,680

2020/03 2021/03 2022/03 2023/03 2024/03
半導体製造装置 7,915 13,565 24,698 29,866 19,899
計測機器 4,366 1,996 3,628 4,628 5,408
合計 12,282 15,562 28,327 34,494 25,307

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