事業紹介

OUR BUSINESSES

日常生活からバーチャル空間まで、
世界中のあらゆるシーンで必要不可欠な半導体。
当社の半導体製造装置事業は、
半導体製造工程の様々な分野で、
お客様の最適な生産システムの構築を支え、
人々の暮らしに貢献しています。

あらゆる機械の頭脳部分となる半導体。
私たちの未来は半導体によって大きく進歩していきます。

自動運転

GPSやカメラ、レーダー、センサといった計測および情報・通信技術により、車の周辺環境を認識して予測・判断することで、事故の削減や渋滞の解消に貢献します。

介護AIロボット

機械学習やディープラーニングにおける演算処理に特化した、AIチップと呼ばれる半導体をロボットに導入することで、介護分野などにおける人手不足の解消や負担の軽減を叶えます。

メタバース

オンライン上に構築された3次元の仮想空間の中で、様々なコンテンツを実現できるメタバース。言語や文化の壁を超え、あらゆる人が参加できる社会を構築します。

ウェアラブルデバイス

体温・心拍数など、様々な健康状態を測定するセンサを搭載することで、 日常生活における人の健康データを簡単に収集し、医療現場で役立てることができます。

①

ウェーハ、
マスク製造工程

回路・パターンをウェーハに焼き付けるためのガラスのネガのようなものを作成。半導体のベースになるシリコンのインゴットを薄くスライスする。

②

露光、
エッチング、平坦化

ウェーハの表面に回路を焼き付けていく。

東京精密の製造装置

③

テスト工程

ウェーハをチップごとに検査し、良品・不良品の判定。

東京精密の製造装置

④

バック
グラインディング

ウェーハの裏側を、求められる厚さに削る。

東京精密の製造装置

⑤

ダイシング

ウェーハ上の集積回路を切断し、チップ化する。

東京精密の製造装置

⑥

パッケージ化

チップをパッケージ化し、最終検査などを行い完成。

全てのモノづくりは「測る」というプロセスなしに
実現できません。
当社は「測れないものは、つくれない」という考えのもと、
あらゆるものを超高精度かつ高速に測る技術で、
世界中の産業界の発展を支え、
人々の豊かな暮らしと新たな未来に貢献しています。

三次元座標測定機

モノの縦・横・高さを測ります

測定するもの

電動車用駆動モータの
生産工程における円筒評価

表面粗さ・輪郭形状測定機

表面のすべすべ度合いを測ります

測定するもの

半導体ウェーハ静電吸着機構の表面粗さ

真円度・円筒形状測定機

理想的な円・円筒形状にどれだけ近いかを測ります

測定するもの

人工股関節骨頭の真円度・表面粗さ評価

光学測定機器

微細な表面粗さや形状を非接触かつ3Dで測ります

測定するもの

カテーテル表面の滑らかさ

モノづくりの流れ

ミクロン〜ナノレベルの誤差まで計測し、
質の高い製品を世界に送り出しています

企画

設計
・
開発

試作

評価

量産

検査
・
品質保証

出荷

自動車

電動車の生産比率増加にともない、自動車の開発・生産方法は大きく変化しています。xEVの開発から生産まで、お客様のニーズに応えることで環境に優しい社会を目指します。

航空機

国際基準に基づいた認証・証明の取得や、厳しい品質管理が求められる世界の航空機市場で、構成部品の開発から生産までを東京精密の「測る」技術で支えています。

医療機器

生命に関わる機器には、高い安全性と信頼性が求められます。当社はトレーサビリティが保証された製品の開発・生産までの計測工程で、最適なソリューションを提案しています。

半導体・電子部品

半導体・電子部品からそれらの製造装置に至るまで、設計図面との寸法公差や幾何公差、表面粗さは品質の要。当社はあらゆる工程で必要な測定を提供し、未来の創造に貢献しています。