非接触表面粗さ・輪郭形状測定機向けアクセサリ

さまざまな表面性状、ワークピースサイズの測定を可能にするアクセサリ

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特長

さまざまな表面性状に対応する対物レンズ

白色干渉測定用対物レンズおよび観察兼フォーカスバリエーション測定用対物レンズについて、倍率2.5~100倍を取り揃えています。また、ワーキングディスタンスが26mmの長作動レンズもございます。ワークピースの表面性状、解析目的に沿った対物レンズをご提案いたします。

大きなサイズのワークピースに対応する

サイズの大きいワークピースには、コラムの高さを130mm嵩上げするコラムスペーサ、XYの移動範囲を選べる電動XYステージ、耐荷重性を向上する高剛性チルトステージなどをご提案いたします。

大きなサイズのワークピースに対応する

その他のアクセサリ

標準仕様のパッシブ除振台からアクティブ除振台への変更、空調機などの風がある環境下での測定に最適な防風カバーの取り付け、地震対策の横ずれ防止、ステージ天板サイズの変更など、さまざまなご要望にお応えいたします。特殊対応となるものもありますので、詳細は最寄りの営業所にお問い合わせください。

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