半導体製造装置のよくある質問
半導体製造装置 全般
地震・火災等の災害発生後の確認作業はどうすれば良いですか？
瞬停発生後の確認作業はどうすれば良いですか？
装置が正常に復旧できるかご確認をお願い致します。
●正常に復旧出来ない場合は弊社サービスにご連絡をお願い致します。
●詳しくは弊社サービスにご連絡をお願い致します。
定期点検を行いたい
装置の移設を行いたい
長期電源切る場合の対応を教えてください（年末年始、お盆休み等1週間程度の休止）
上記以外の場合は弊社サービスにご連絡をお願い致します。
長期電源切り立ち上げる場合の対応を教えてください（年末年始、お盆休み等1週間程度の休止後）
詳しくは弊社サービスにご連絡をお願い致します。