半導体製造装置のよくある質問

消耗品（リテーナ、ドレス、ブラシ類）を取り外し、保湿状態で保管をお願い致します。
薬液ライン、研磨剤ラインの水置換をお願い致します。
装置内の水抜きをお願い致します。
装置電源をOFFにして下さい。
各用力の遮断をお願い致します。
●詳しくは弊社サービスにご連絡をお願い致します。

各用力を開けてください。
装置電源をONにして正常に立ち上がることをご確認ください。
取外した消耗品を取り付けてください。
●詳しくは弊社サービスにご連絡をお願い致します。

装置画面上で確認が出来ます。取扱説明書の参照をお願い致します。
●詳しくは弊社サービスにご連絡をお願い致します。

外装カバーが閉まっていますか？
UPSが立上っていますか？
●詳しくは弊社サービスにご連絡をお願い致します。

ロボットティーチング及び、ベルトテンションなどの確認が必要になります。
●定期点検を推奨いたします。詳しくは弊社サービスにご連絡をお願い致します。

装置プロシージャに沿って、実施をお願い致します。取扱説明書の参照をお願い致します。
●詳しくは弊社サービスにご連絡をお願い致します。
　オペレーショントレーニング、メンテナンストレーニングの受講を推奨致します。

研磨パッドの溝はありますか？
スラリー流量の確認をお願い致します。
ドレスキャリブレーションの確認をお願い致します。
ヘッドキャリブレーションの確認をお願い致します。
●詳しくは弊社サービスにご連絡をお願い致します。
　オペレーショントレーニング、メンテナンストレーニングの受講を推奨致します。

ポンプ使用時間は設定回数を超えていませんか？
ポンプ圧力、ダンパー圧力は適正ですか？
●詳しくは弊社サービスにご連絡をお願い致します。

取扱説明書の参照をお願い致します。
●詳しくは弊社サービスにご連絡をお願い致します。
　オペレーショントレーニングの受講を推奨致します。

取扱説明書の参照をお願い致します。
●詳しくは弊社サービスにご連絡をお願い致します。
　オペレーショントレーニングの受講を推奨致します。

対象のドライバーはどこになりますか？
ドライバーのエラーコードは何と出ていますか？
●詳しくは弊社サービスにご連絡をお願い致します。

バキュームポンプは正常に動作していますか？
元バルブが閉じていませんか？
●詳しくは弊社サービスにご連絡をお願い致します。

研磨パッドの溝はありますか？
どのタイミングでヘッド吸着ミスが発生していますか？
●詳しくは弊社サービスにご連絡をお願い致します。

センサー周辺に水滴が付着していませんか？
センサーの出力が低下していませんか？
●詳しくは弊社サービスにご連絡をお願い致します。

センサー周辺に水滴が付着していませんか？
センサーの出力が低下していませんか？
●詳しくは弊社サービスにご連絡をお願い致します。