半導体製造装置のよくある質問

装置内部の汚れが激しい場合には清掃を行ってください。
装置電源をOFFにしてください。
エアー以外の用力の遮断を行ってください。

●詳しくは弊社サービスにご連絡をお願い致します。

各用力を開けてください。
装置電源をONにして正常に立ち上がることをご確認ください。
●詳しくは弊社サービスにご連絡をお願い致します。

カーフにフォーカスはあっていますか？
フォーカスと照度は適切ですか？
●カーフチェック環境登録からカーフチェック画像の再登録をお願いします。
　それでも復旧しない場合には弊社サービスにご連絡をお願い致します。

アライメント（モデル）画像は認識できていますか？
●アライメントの再登録もしくはスパイラル範囲の見直しをお願い致します。

リトライでエラーは解除できますか？
●ハイエアーとロウエアーの流量を確認してください。
　新品ブレードでダウンリミットの調整と光学式位置の再調整をお願い致します。

流量はどのくらい流れていますか？
●閾値の確認と流量センサーの清掃をお願い致します。

流量はどのくらい流れていますか？
●閾値の確認と流量センサーの清掃をお願い致します。

I/O画面からマニュアルで操作できますか？
●顕微鏡カバーを外しセンサーの状態を確認してください。
　シャッター廻りの清掃をお願い致します。

水漏れ箇所はどこになりますか？
●エラー発生個所に水漏れセンサーの状態を確認してください。

フランジカバー周辺の清掃を行っていますか？
ブレードは破損していませんか？
●切削条件が思わしくないかスピンドルシャフトのとスピンドルキャップの根元にスラッジが溜まっている可能性があるのでフランジを取外し清掃をお願い致します。

テープにしわはありませんか？
テーブルに汚れはありませんか？
●しわがある場合はしわが無いように貼りなおしてください。
　テーブルの清掃をお願い致します。

フランジの端面には、ブレードの基台部が直接接触します。

そのため、フランジの端面に異物が付着している場合、ブレードの取付異常が起こり、加工点への影響であったり、加工品質の悪化を招く恐れがあります。

ブレード交換時に於ける予防と、定期的な端面精度の確認、及び端面修正が重要となります。

●ブレード交換時に、アルコールを含ませた綿棒等でフランジ端面を拭き、異物の挟み込みを予防してください。

　端面修正の頻度を少なくすることができます。

●以下の場合には、早急にフランジ端面精度の確認を実施してください。

・カーフ広がり、裏表面チッピングが著しく悪化した場合。

・取り外し後のブレード基台に深い接触痕が確認された場合。

●定期的にフランジ端面精度の確認、及び端面修正を実施してください。