半導体製造装置のよくある質問

プローブカードを取り外してください。
ウェハーが装置内にないか確認してください。
水道水を使用しているチラーポンプを5日以上停止させる場合は水道水をタンクから完全に抜いてください。
上記問題ない事を確認後、電源をOFFにしてください。
●詳しくは弊社サービスにご連絡をお願い致します。

水道水を使用しているチラーポンプのタンクに新しい水道水を注入してください。
規定の用力が入力されていることを確認をしてから装置電源をONにし、正常に立ち上がることをご確認ください。
●詳しくは弊社サービスにご連絡をお願い致します。

途中のWindowsデスクトップは表示されますでしょうか？ACCRETECHのロゴで止まってしまうのでしょうか？
ヒューズが切れていませんか？
３連FANすべて回転していますか？
制御系電源の5V,±12Vの出力は正常でしょうか？
●HDDが故障している可能性があります。
　ヒューズを確認して切れている場合はヒューズ交換をお願いします。
　３連FANの調査を行い故障しているFANの交換をお願いします。
　保守要領書に従って制御系電源の出力確認をお願いします。
　復旧しない場合には弊社サービスまでご連絡をお願い致します。

モニタ上の画面にレチクルが映っていますでしょうか？映っていない場合、レチクルサーチ時の画像でレチクル検出ができていない可能性があります。
●まずは針合わせ時の状況について確認願います。レチクルが全く見えていない場合、弊社サービスまでご連絡をお願い致します。

モニタ上の画面に針先が映っていますでしょうか？映っていない場合、針合わせの際にフォーカスが合っていない又はサーチ位置がずれている可能性があります。
●針合わせ時の状況について確認をお願い致します。
　問題がない場合には弊社サービスへご連絡をお願い致します。

モニタ上の画面にチャックエッジが映っていますでしょうか？映っていない場合、アライメントカメラの異常の可能性があります。
●イニシャライズ実行時、カメラ画像が映っているか確認をお願い致します。
　問題が無い場合には弊社サービスへご連絡をお願い致します。

容量センサーの取付に緩みはありませんか？
●容量センサー取付高さが±0.3V以内になるように調整し、ネジを締めて下さい。

モニタ上の画面にビーム画像は映っていますでしょうか？
●カメラ本体異常かどうかを切り分けるため、ご確認をお願い致します。

カセットからウェハが飛び出している可能性があります。
飛び出しセンサの反応域にカバーなどが干渉している可能性があります。
芯だしセンサの異常の可能性があります。
●ウェハーの状態や、センサーの光量確認をお願い致します。

Loadport上に物が置かれていないでしょうか？
●Loadport上のセンサ状態の確認をお願い致します。

針跡は正常についているでしょうか？
テスタのポゴピンなどに異常はありませんか？
●どちらも異常が見られない場合には弊社サービスにご連絡をお願い致します。

ずれ方の詳細、装置情報、発生条件の確認、ログ採取等情報をお願いいたします。
●ログ採取後に、弊社サービスにて確認致します。

エラー詳細を確認するため、再ロット（START)を実行し、ログの採取をお願いします。
●ログ採取後に、弊社サービスにて確認致します。

STARTを押して表示されるエラーメッセージはどのようでしょうか？
●詳しくは弊社サービスにご連絡をお願い致します。

設定温度とチャック温度、露点温度、冷却液温度はそれぞれ何度になっていますか？
●詳しくは弊社サービスにご連絡をお願い致します。

設定温度とチャック温度、露点温度、冷却液温度はそれぞれ何度になっていますか？
温度ｺﾝﾄﾛｰﾗ故障、基板故障の可能性があります
●詳しくは弊社サービスにご連絡をお願い致します。

発生した温度設定での運転状況について各パラメータ等を控え原因を検討します。
●チラー機種によりログ採取が出来ない機種があります。
原因確認の為の情報収集となりますので、弊社サービスにご連絡をお願い致します。

カード交換中にエラーが発生したタイミングを教えて頂けないでしょうか。
●エラー発生タイミングからプローバ起因なのかテスター起因なのかの切り分けを行います。

カード装着時のエラーでしょうか？カード分離時のエラーでしょうか？カードが残っている場合はカードを破損させる可能性がある為、操作は行わないで下さい。
●詳しくは弊社サービスにご連絡をお願い致します。

対象のドライバーはどこになりますか？
ドライバーのエラーコードは何と出ていますか？
●詳しくは弊社サービスにご連絡をお願い致します。

バキューム元圧と吸着時の圧力の確認をお願いします。正常ではない場合、ウェハー裏面又はアーム上やチャック上にコンタミが付着している可能性があります。
●アーム上、チャック上の清掃後、ウェハーを変えて再ロードをお願いします。また、ウェハー裏面の確認をお願い致します。

取扱説明書の参照をお願いします。
●オペレーショントレーニングの受講を推奨いたします。

①テスター通信時に送信後、受信できずにフリーズしている可能性があります。
●テスター通信の確認をお願いします。
②原点位置に移動する際に原点位置センサー認識できずにフリーズしている可能性があります。
●原点センサーが反応するか確認をお願いします。