半導体製造装置のよくある質問
剥離洗浄機
長期電源切る場合の対応を教えてください（年末年始、お盆休み等1週間程度の休止）
汚れが残っている状態で長期放置すると固着してしまい動作不良に繋がります。
清掃を行ってからシャットダウンしてください。
また、インクジェット仕様の装置はプリンタの電源を落とすとインクが固着し、立ち上げ後に印刷が出来なくなることがあります。
●詳しくは弊社サービスにご連絡をお願い致します。
長期電源切り立ち上げる場合の対応を教えてください（年末年始、お盆休み等1週間程度の休止後）
インクジェットプリンタ仕様の装置はインクの固着がないか確認して下さい。
装置電源をONにして正常に立ち上がることをご確認ください。
●詳しくは弊社サービスにご連絡をお願い致します。
ウェーハの洗浄度をもう少し上げたい。
洗浄時間や洗浄工程は適正ですか？
●洗浄時間や洗浄工程について、操作盤で設定変更し洗浄度を向上させてください。
接着材を変えたらビームからウェーハの剥離が不安定になった。
接着剤に合わせた加熱温度、昇温待ち時間の調整、剥離前のチルト機能となっていますか？
●接着剤に合わせた加熱温度、昇温待ち時間の調整、剥離前のチルト機能となるように変更してください。
洗浄部のベアリングの寿命を延ばしたい。
エアパージによるベアリング保護オプションを付けていますか？
●ベアリング保護オプションを追加することによりベアリングの寿命を延ばすことが出来ます。詳しくは弊社サービスにご連絡をお願い致します。
洗浄水の流量が低下、洗浄度が低下している。
ゴミなどによる詰まりはありませんか？
●ゴミの除去及び清掃を行ってください。
必要部位に流量計を取り付け、工場側ホストPCへリアルタイムのデータUPを実施を推奨します。
吸着パッド摩耗により、搬送中ウェーハの落下が発生した。
パットが経年劣化などにより摩耗・変形していませんか？
●パッド交換日を操作盤へ入力、剥離枚数によるメンテナンス推奨時期発報機能を使用しての運用を推奨します。
洗浄サイクルが納入当初よりも長くなった。
スラリーの影響により排水ラインが汚れ、詰まりにより排水時間が伸びていませんか？
●排水ラインの清掃を行ってください。