ウェーハマウンタ

うぇーはまうんた

ウエーハダイシング時に、チップが飛散しないように保持するため、ダイシングフレーム(ダイシングリング、リングフレーム、リング)にダイシングテープを貼り、ウエーハを保持します。この時、フレームとウェーハの位置合わせを行い、ウェーハをダイシングテープに貼り付け、固定する装置のことをウエーハマウンタと呼びます。