半導体製造装置

製品情報イベントサポートよくある質問用語集お問い合わせ

ソーマーク

読み方

そーまーく

説明

研削加工において生じる研削痕のこと。インフィード研削ではウェーハ中心部より放射線状に伸びる。

一覧に戻る