フルカット

ふるかっと

ウェーハを完全にチップ化する加工方法。ウェーハはダイシングテープに貼り付けられた状態で加工されるが、ブレードはウエーハを完全に切断した後、ダイシングテープを切り込む。切削テーブルは傷付けず、次工程への受け渡しが行われる。