往復カット

おうふくかっと

ウェーハを1ライン毎にブレードの回転方向と同一方向送り(ダウンカット)と逆方向送り(アップカット)で交互にカットする機能。一方向のみでのカット方式に比べスループットは向上するが、チッピングが大きくなる傾向がある。硬度の高い材料や、厚物デバイスなどで採用されるケースが多い。