チッピング

ちっぴんぐ

切削ラインのエッジに生じたチップの縁の欠けた状態。Siウエーハの場合、表面側のダイシング・ストリート側で発生するチッピングを「表面チッピング」と言い、反対にウエーハ裏面側で発生するチッピングを「裏面チッピング」と言う。