CO₂バブラ

CO₂ばぶら

ウェーハダイシング時に発生する静電気の帯電を防止するため、純水中に二酸化炭素を混入させ純水の比抵抗値を下げる装置。特殊な中空糸膜を介して純水へ微量のCO2ガスを溶解させ、純水の比抵抗値を制御します。