標準アライメント（円形ウエーハ）

ひょうじゅんあらいめんと（えんけいうえーは）

ウェハアライメントは、繰り返しのあるパターンを検出し、θ調整を行います。加工位置はモデル登録の際に教示されたY座標をパターンから計算することで導き出しています。アライメントは大きくラフアライメントとファインアライメントの動作で構成されています。