クリーニングシート

くりーにんぐしーと

ニードルの先に付着した屑を取るシート。研磨目的のラッピングフィルムや、粘着性の素材で屑を除去するなど様々な種類がある。
クリーニングユニットや、クリーニングウェーハに貼り付けて使用する。