チャック

ちゃっく

測定を行うために、ウェーハを固定するステージのこと。ウェーハを真空吸着する事で固定する。微細なニードルを当てるので、高い平面度が要求される。
また、測定の際には実装された状態を再現したり加速試験を行う為、表面温度を設定する機能をもつものがある。