半導体製造装置

製品情報イベントサポートよくある質問用語集お問い合わせ

終点検出技術

読み方

しゅうてんてんしゅつぎじゅつ

説明

光学式（レーザー、白色光）、モーター電流検知式（トルク式）が一般的に用いられている。

一覧に戻る