ITM

あいてぃえむ

In-Line Thickness Metrology。CMP装置内蔵された膜厚測定機。CMP処理前後に膜厚を測定し、CMP性能のバラツキを抑える為の制御に使用する。また、後工程に膜厚情報を送る事で後工程の処理品質を安定化させる為に使用される。