ゾーンコントロール機能

ぞーんこんとろーるきのう

研磨後のウェハ面内の膜厚バラツキを抑える為の機能。ウェハ面内を同心円状に数箇所の範囲（ゾーン）に分け、そのゾーンのウェハ加圧を独立に調整する事が可能。