Cap-Metal技術

きゃっぷーめたるぎじゅつ

Cu配線の上に絶縁膜とCuとの密着性が悪く、エレクトロマイクグレーションによる配線信頼性低下を抑える技術として、CoWPなどの無電解ﾒｯｷ膜をCu配線上にのみ付加する事で配線信頼性を向上させる技術。