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特長
非接触変位センサ
新光源・新干渉法の採用。粗面からの散乱光を利用して測定を行うため、ミラーやコーナーキューブが不要。直接反射で測定できます。
多点モニタリング
16 ch のセンサを標準装備。センサとコントローラ間のケーブルは最大1,000 m まで延長可能。実験装置の多点の変位を測定する目的に最適です。
高精度
新干渉法の採用により、直線性: ± 1 μm、繰り返し精度(2 σ )：0.1 μm を実現。
低温度ドリフト
温度安定化光学ユニットにより、温度ドリフトを抑制。20 〜 30 ℃の現場環境で高い精度を実現。
± 0.9 μm @ 25 ± 5 ℃
耐環境・極小センサヘッド
電子部品を一切含まない極小センサヘッドにより、放射線環境下や強磁場、電磁ノイズ環境下でも安定した測定が可能です。
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