半導体、電子部品をはじめとする電子材料から半導体製造装置、電子部品製造装置に至るまで、信頼性や再現性、品質を支えていくために重要なのが、基準となる設計図面に記載された寸法公差や幾何公差、表面粗さになります。ACCRETECHはこれらの開発から品質管理までのあらゆる工程で、最適なソリューションをご提案してまいります。
高まる精密測定への要求
半導体や電子部品は、日本で高度に発展・発達した産業の一つです。 アプリケーションはスマートフォンからスーパーコンピュータ、薄型テレビから自動運転まで、大容量・低消費電力・高速化をキーワードに第４次産業革命のキーテクノロジーであり心臓部とも言えます。関連生産設備では半導体製造装置や電子部品製造装置から、真空チャンバー・真空ポンプ・高純度バルブ・配管・静電チャック・電極板等、実に多くの部品が使用されています。また、これら部品の一つ一つの信頼性や再現性、品質を支えていくために重要なのが、基準となる設計図面に記載された寸法公差や幾何公差、表面粗さになります。半導体や電子部品産業は、他の機械産業と比較しても、寸法精度や表面粗さが厳しく管理され、精密測定への要求はさらに高まります。
静電チャック（ESC）の静電吸着力に影響する表面粗さ
半導体素子製造プロセスで用いられるエッチング処理装置やCVDによる薄膜形成で用いられるプラズマ処理装置などに半導体ウエハの静電吸着機構として使用されるESC。静電吸着力を用いてウェーハを保持するESCの吸着面には、パーティクル付着を最小限にコントロールする為に、エンボス（突起部）などの凸凹パターンを形成する場合があります。エンボス表面の粗さが吸着力やサーマルコントロールに大きく影響するため、品質管理パラメーターとして表面粗さが重要です。ACCRETECHでは接触式・非接触式での表面粗さを管理するソリューションをご提案いたします。
静電チャック（ESC）の外形寸法や平面度・平行度に
半導体ウエハの静電吸着機構であるESCの静電吸着力に影響するパラメーターとして上記に挙げた表面粗さに限らず、外形寸法や上面・下面の平面度・平行度が挙げられます。これらは吸着対象となるウェーハをできるだけ水平に固定する観点からも重要になってきます。ACCRETECHでは接触式・非接触式での寸法・幾何形状を管理するソリューションをご提案いたします。
石英ガラス部品の寸法測定・幾何公差評価
石英ガラス部品は、汚染を嫌う半導体プロセスには必要不可欠な材料で、露光、洗浄、拡散、成膜、イオン注入、エッチング等の半導体製造装置用部品に多く採用されています。パターニング用のマスク、拡散や成膜に使われる縦型炉の石英チャンバーやウェーハをガイドする石英ボート等と用途は幅広く、これらに必要とされる加工精度は多岐にわたります。例えば石英ボートは、ウェーハガイドピッチやウェーハ接触部分、他部品との接触・固定部分の寸法・形状精度が適切に管理されていないと、プロセス異常に繋がります。ACCRETECHではこのような問題への最適なソリューションとして、寸法測定・幾何公差評価で多くの実績を持つ高精度スキャニングプローブシステムを搭載した三次元座標測定機をご提案いたします。
その他のソリューション
