ZEISS PRISMO® ultra
最⾼水準の⾼精度を実現。ZEISS PRISMO® シリーズ最上位モデル
高精度部品の研究開発や基準ゲージの校正検査など、極めて高い精度を要求される測定に応えるために誕生した三次元座標測定機
特長
最高水準の高精度を実現
超高分解能スケールの搭載や、温度変化による測定結果への影響を最⼩化する様々な技術により、E0, MPE = 0.5+L/500 μm の高精度を実現しています。
素材にZerodur®を採⽤した超高分解能スケールを搭載
ZEISS PRISMO®シリーズで最も高い分解能 0.02 μmスケールを各軸に搭載。さらに、スケール素材には熱膨張係数の極めて⼩さいZerodur®(ゼロデュア)を採⽤しており、環境温度の変化による精度への影響を最⼩限に抑制します。
高精度を実現する、進化したCAA 補正技術
ガイドの真直度誤差を64 の格子に細かく分割して補正するFineCAAを採⽤。さらに、校正時に測定⼒を変えて同一箇所を複数回プロービングすることでスタイラスや校正球のたわむ度合いを求める「テンソル校正」により、測定結果からたわみ誤差を取り除くことで⾼精度測定を実現しています。
ZEISS PRISMO® シリーズ共通の特長
高精度
高精度・高速でのスキャニング測定を実現するアクティブスキャニングセンサ VAST gold搭載
エアベアリングによる4方向からのガイド支持で、駆動時のねじれを防止
温度変化によるガイドの伸縮に影響を受けない、独自のフローティングスケール保持方式
ブリッジ部に温度変化の影響が極めて少ない材質を使⽤
環境温度に左右されない測⻑システム
高効率
スキャニングパラメータの新設定により、スキャニング測定速度が2倍以上に大幅アップ
「VAST Navigator」により⾼精度かつ⾼速でスキャニング測定 Navigator機能(VAST gold/XT gold/XTR gold 使用時)
「VAST Performance」 FlyScan 機能により穴や切り欠き形状を気にせずスキャニング測定(VAST gold/XT gold/XTR gold 使用時)
新機能「ZEISS VAST Rotary Table Axis(ZVRA、オプション) 」によりロータリテーブルの回転軸定義を高速化
「CALYPSO VAST probing」によりポイント測定を高速化
「VAST Performance」 QuickChange 機能によりスタイラス交換を高速化
高汎用性
「massテクノロジ」により接触・非接触問わず様々なセンサを搭載可能
ロータリテーブルで複雑形状ワークを高精度かつ効率的に測定(オプション)
高安全性
高速測定と安全性を両立。測定機と一体化した安全装置(レーザスキャナ)
予期せぬ事故を防止。安全性を高めた新カバー
エコロジカル＆エコノミカル
エア供給の “アイドリングストップ” 「ZEISS AirSaver」
電源の “自動ON/OFFタイマー” 新機能「ZEISS PowerSaver」
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