高精度
高速駆動
ハイブリッド(検出器一体型)
表面粗さ・輪郭形状測定
SURFCOM CREST
世界最高水準の高精度・高速測定・高分解能を実現
リニアモータ駆動部を搭載し、レファレンスマシンとしての完成度を極めたサーフコムのフラッグシップモデル
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特長
超高精度・高分解能で測定できる、ユニークな検出器
東京精密の要素技術の一つである光ファイバによるレーザ干渉測長システムを応用し、分解能0.31 nm の高安定倍光路型レーザ干渉センサを開発し搭載しました。ダイナミックレンジと分解能比は42,000,000：1 もあり、広い範囲の輪郭形状とその形状に隠れている微細な表面性状(表面粗さ)をワントレースで評価できる画期的なものです。
表面粗さも輪郭形状もワントレースで測定が完結
測定箇所へのアプローチがしやすい駆動部傾斜対応モデルもラインナップ
X軸(横方向) 200 mm、Z軸(縦方向) 13 mmの広い測定範囲により、ワントレースで広範囲の表面粗さ・輪郭形状を一度に評価できます。また、駆動部を±45°自動制御し傾けることのできる駆動部傾斜装置つきモデル SURFCOM CREST-Tであれば、ワークピースの位置や姿勢の細かな調整や、測定箇所にアプローチできるかどうかのトライ＆エラーに要する手間を減らすことができ、さらに効率の良い測定を行えます。
リニアモータ駆動部(特許取得済)が低振動かつ高速での駆動を実現
東京精密の特許技術であるリニアモータ駆動部を搭載。高速での駆動が可能なため、手動でのワークピースへのアプローチや、CNCプランの作成、CNC測定中の駆動時間を短縮し、準備から測定まで検査工程全体での効率化を図れます。さらに、超低振動駆動機構により振動由来のノイズの発生を抑え、高精度な測定結果を提供します。
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