製品バリエーション
特長
3D白色干渉顕微鏡Opt-scopeは高分解能。 高速。 広範囲。
３D白色干渉顕微鏡Opt-scopeは、レンズ倍率に関わらず垂直方向に一律0.01nmと高分解能、ナノ表面性状を低倍率レンズで測定できるから広範囲を１ショットで高速測定が可能です。レーザー顕微鏡や他の非接触測定原理では測定が難しいサブナノ表面粗さ、透明体、高アスペクト比構造を高い再現性で測定します。
NEWモデル！Opt-scopeのNEXTステージは、さらにフレキシブルに
あらゆるワークピースにフレキシブルに対応する、NEXプラットフォームモデル「Opt-scope NEX」。
ストレスなく作業できるオールインワン設置型DXタイプと卓上設置対応型SDタイプが新たにラインナップに追加。
オールインワン設置型DXタイプ
卓上設置対応型SDタイプ
多様な治具の組み合わせ多品種ワークピースに対応
東京精密は、これまで様々なワークピースの計測に対応してきました。
そこで培った経験を活かし、要望に適したワーク保持具、アライメント治具の組み合わせをご提案いたします。
大型ワークピースをカットレスで測定
既存モデルでは、不可能であった大型ワークピースの設置・測定が可能です。
例えば、直径300mmの砥石を立てた状態での測定やシリンダヘッドのような箱型ワークピース、カムシャフトのような長物ワークピースもカットレスにて測定台にセッティングできます。カットワークの準備にかけていた工数を削減し省力化に寄与します。
最大搭載荷重96kg
自動化・省力化を実現する高い拡張性
セレクタブルなベース・コラムサイズや測定部の広い上下動ストローク、コラムの電動左右送りやXY電動ステージ対応により、さまざまなアプローチで自動化・省力化を実現できる拡張性の高いプラットフォームシステムです。
触針式との高い相関性
東京精密はマーケットリーダーとして長年触針式表面粗さ測定機を販売しており、Opt-scopeは触針式との効果測定の相関性を有しております。
ISO 25178-2、JIS B 0681-2 三次元表面性状パラメータに準拠
東京精密は、国際標準化機構の技術委員会（ISO / TC213）に長年参画し、三次元表面性状計測の普及・推進活動を行っております。
高速カメラオプションでスキャン速度が6倍にUP
精度に応じて選べる2モード。高速モードがさらに高速になりました。
フォーカスバリエーション測定機能で、ミリ形状を高速測定
フォーカスバリエーション測定機能は、三次元表面性状の国際規格ISO 25178-606に測定方法として定められている全焦点画像顕微鏡法（focus Variation Microscopy)に基づき、白色干渉法では難しかった急傾斜を含むミリメートルレベルの形状測定を行えるオプションです。
本機能と通常の白色干渉による測定を併用することにより、Opt-scope1台でさらに多様な測定ニーズにお応えします。
透明多層膜測定機能で膜厚解析
厚みが光学長1.5 μm 以上の透明膜を最大積層6（7界面）までとし、最表面の面性状をはじめ、各層の膜厚、膜厚分布の解析が可能です。
評価・解析例
三次元粗さ解析例
任意断面の二次元粗さ解析例
微細形状解析例
輪郭解析 (Contour)/(Advanced Contour)
グレイン解析(Grain & Particle)
関連情報
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