半導体製造装置事業 サポート品質

半導体社CE部では、サービス部門による高い顧客対応力・付加価値提供力に加え、パーツセンターの遅滞のない部品供給を実現するため、国内外でお客さまのモノづくりのサポートを実施しています。

半導体社CE部は、顧客先のさまざまなトラブルに対応できる高度な専門性が求められます。高品質なサポートを提供し続けるため、若手エンジニア研修やリーダ育成研修を実施することで作業レベル（精度・動作保証・知識など）の標準化にも役立てています。また、スキルシートを用いることで、従業員の知識・能力の習得状況を明確化し、人財育成にも役立てています。

GSE*主催で毎年開催しているGSMは、2022年度はオンライン形式で実施しました。12か国、67名の海外現法のサービスエンジニア代表が参加し、立ち上げ作業のビデオ配信やWebカメラ、スマートグラスを活用しAI Big data機能などのデモンストレーション、装置、製品別トレーニングを実施しました。

当社は、現在、全世界約32か国のお客さまに対して、保守パーツを供給しています。2022年度は、米国エリアにおいてポリッシュ・グラインダ、ダイシングマシンの長納期パーツを在庫に追加することで、供給の短縮を可能にしました。また、EUエリアでは、半導体ウェーハ面取り機向けに、供給体制を整備しています。

当社では、遠隔サポート促進のために、八王子工場でのスマートグラス*専用回線の新設やオンラインのセキュリティ対策を実施、強化しています。

*スマートグラス　メガネ型のウェアラブルデバイス。レンズ部分にあるディスプレイに情報を表示できる

装置稼働率が下げる要因は、チョコ停*や点検、故障などが考えられます。お客さまへのサービス対応の際、発生したエラー情報を登録・集計することで稼働率を見える化し、改善やメンテナンス計画を提案しています。