水資源
水は人々の生命や暮らしに直結する貴重な資源です。半導体製造装置を生産する八王子工場では水（純水）を大量に使用するため、水使用量削減と水リサイクルを推進することで、水資源保全に取り組んでいます。
エコファクトリ
2023年度の計画と実績
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テーマ |
計画・目標値 | 実績（2023年度） |
| 水使用量削減 （水使用量生産高原単位削減） |
2024年度までに2019年度比 5%削減 設定年 2020年 期間 2020年度-2024年度 基準使用量 2.74m3 削減目標 2.60m3 |
1.59m³/百万円 （2019年度比42.0%減） |
対象範囲：八王子工場、飯能工場、土浦工場、古殿工場
水使用量削減・水リサイクル
当社では、取水は全て市水と地下水で賄っており、2023年度は168,685m³を使用しました。特に八王子工場では、水（純水）を大量に使用する半導体製造装置の生産量拡大に伴い排水量も増加しているため、排水の一部を回収、ろ過し、純水の原水として水リサイクルを推進しています。
取水量（水使用量）
| 2019年度 | 2020年度 | 2021年度 | 2022年度 | 2023年度 | |
| 取水量（m³） | 171,706 | 169,873 | 163,662 | 164,150 | 168,685 |
| 市水（m³） | 26,062 | 20,818 | 22,144 | 21,989 | 32,721 |
| 工業用水（m³） | 145,644 | 149,055 | 141,518 | 142,161 | 135,964 |
| その他*（m³） | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 |
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水使用量生産高原単位 |
2.74 | 2.29 | 1.61 | 1.48 | 1.59 |
対象範囲：（株）東京精密 八王子工場、土浦工場、飯能工場(2023年7月以降)、古殿工場(2023年10月以降)、飯能⼯場は新規竣工、古殿工場は事業譲受に伴い当社の工場としてカウントするものです。
* その他：地表水（河川、湖沼など）、海水、雨水、他の組織からの排水などを含む
取水量
純水製造設備の水リサイクル率*
| 2019年度 | 2020年度 | 2021年度 | 2022年度 | 2023年度 |
| 16.3% | 17.2% | 17.2% | 17.6% | 17.1% |
対象範囲：八王子工場
*水リサイクル率：リサイクル量/使用量（＝原水投入量＋リサイクル量）
水リスク評価
世界資源研究所（WRI）のアキダクト（Aqueduct Overall Water Risk Map)を用いて、水ストレス・水リスクの評価を実施しています。当社の生産工場（八王子・飯能・土浦・古殿）および国内グループ会社の生産工場が所在するエリアでは、「Low-Medium」クラスとなっています。一方で、海外子会社の生産拠点のうち一部のエリアにおいては、「Extremely high」または「High」クラスとなっています。国内では自治体のハザードマップの利用と合わせて、今後も定期的なモニタリングを継続していきます。
水質指標
当社の排水は全て一般下水で、海洋・河川への排水はありません。各工場において排水管理を徹底し、水環境保全に努めています。
水質指標
| 2019年度 | 2020年度 | 2021年度 | 2022年度 | 2023年度 | |
| BOD（t） | 3.55以下 | 2.75以下 | 1.87以下 | 2.76以下 | 2.77以下 |
| 窒素含有量（t） | 1.53以下 | 1.31以下 | 1.34以下 | 1.44以下 | 1.56以下 |
| ヨウ素消費量（t） | 0.71以下 | 0.71以下 | 0.82以下 | 0.81以下 | 0.73以下 |
| 浮遊物質量（t） | 5.87以下 | 5.49以下 | 3.21以下 | 3.78以下 | 3.96以下 |
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ノルマルヘキサン |
0.13以下 | 0.02以下 | 0.02以下 | 0.05以下 | 0.37以下 |
| リン含有量（t） | 0.09以下 | 0.06以下 | 0.06以下 | 0.07以下 | 0.08以下 |
対象範囲：八王子工場
各課題への取り組み
